• 测试元素： 氢(H) – 铀 (U)，~14个元素
• 含量范围：0.X ppm级 至 %含量
• 测试深度：表面（纳米）至几百个微米
• 测试精度：含量 – RSD 优于2%
深度 – RSD 优于5%
• 涂镀层种类：- PVD / CVD / ECD
- 电镀（锌、铜、镍、铬、钛、锡等各类金属涂
镀层）
- 磷化、钝化等各类化学层
- 薄膜电池 / 柔性电池（CIGS, LIB ….)，
- 非晶硅、碲化镉、铜锌锡硫化物等
- 类金刚石涂层
- 热处理（渗碳、渗氮、共渗等…)
- 真空蒸镀、磁控溅射镀膜
• 适合样品：- 导体材料表面各类涂镀层（导体或非导体）
- 非导体材料表面各类涂镀层（导体或非导体）
- 薄膜/柔性材料表面各类涂镀层

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